

气体润滑轴承是一种以气体作为润滑剂的滑动轴承。自20世纪60年代以来,随着核技术、航天技术、微电子、信息技术以及生物工程等新兴科学技术而发展起来,加工、检测精度从毫米、微米到亚微米,目前已经发展到纳米水平,并向着原子晶格尺寸(亚纳米)水平迈进,所有这些进步都依赖于超精密加工和超精密检测技术水平的不断提升,现阶段科学技术的发展对超精密加工和超精密检测技术提出了更高的要求,如:高精度、大载荷、高刚度、低流量、高分辨率、高稳定性、低振动、低爬行、低成本等。
在超精密加工和超精密检测领域,气体润滑技术以其巨大的优势得到了广泛的应用。